Influência da mistura gasosa e da pressão na degradação/remoção de um filme DLC em descarga elétrica de corrente contínua em regime anormal

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Autor(es): dc.contributorBrunatto, Silvio Francisco, 1967--
Autor(es): dc.contributorUniversidade Federal do Paraná. Setor de Tecnologia. Programa de Pós-Graduação em Engenharia Mecânica-
Autor(es): dc.creatorTodorowicz, Leonardo-
Data de aceite: dc.date.accessioned2020-01-31T13:03:29Z-
Data de disponibilização: dc.date.available2020-01-31T13:03:29Z-
Data de envio: dc.date.issued2019-09-13-
Data de envio: dc.date.issued2019-09-13-
Data de envio: dc.date.issued2009-
Fonte completa do material: dc.identifierhttps://hdl.handle.net/1884/63312-
Fonte: dc.identifier.urihttp://educapes.capes.gov.br/handle/1884/63312-
Descrição: dc.descriptionOrientador : Prof. Dr. Sílvio Francisco Brunatto-
Descrição: dc.descriptionDissertação (mestrado) - Universidade Federal do Paraná, Setor de Tecnologia, Programa de Pós-Graduação em Engenharia Mecânica. Defesa: Curitiba, 16/03/2009-
Descrição: dc.descriptionBibliografia: fls. 91-95-
Descrição: dc.descriptionResumo: O principal objetivo deste estudo foi promover através da aplicação de uma descarga luminescente de corrente contínua em regime anormal, uma degradação/ remoção físico-química e térmica de um filme DLC depositado sobre uma superfície metálica. A influência do bombardeamento iônico sobre o mecanismo de degradação/ remoção do DLC foi investigada para diferentes pressões e misturas gasosas (Ar+H2) e condições fixas de temperatura (500ºC) e fluxo gasoso de 5 cm³/s. As características superficiais das amostras processadas foram avaliadas por meio de MEV, EDS, Espectrometria Raman e nano-dureza. Os resultados indicam a viabilidade de se remover com sucesso filmes DLC de alta tecnologia, criando assim um novo campo de aplicação na área de descargas luminescentes de corrente contínua em regime anormal.-
Descrição: dc.descriptionAbstract: The main goal of this study was through the application of a DC abnormal glow discharge, promoting a physical-chemical and thermal degradation/ removal of the DLC film. The influence of the ion bombardment effect on the mechanism of DLC film degradation/ removal was investigated under different pressures and gas mixtures (Ar+H2), at a fixed condition of 500¨¬C processing temperature and 5 cm©ø/s gas flow. The characteristics of the processed samples. surface were carried out by means of: SEM, EDX, Raman spectroscopy and nano-hardness. Results indicate the viability to remove DLC films of high technology successfully, creating a novel application field for DC abnormal glow discharges.-
Formato: dc.format107f. : il., grafs., tabs.-
Formato: dc.formatapplication/pdf-
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Palavras-chave: dc.subjectTeses-
Palavras-chave: dc.subjectEngenharia mecânica-
Título: dc.titleInfluência da mistura gasosa e da pressão na degradação/remoção de um filme DLC em descarga elétrica de corrente contínua em regime anormal-
Tipo de arquivo: dc.typelivro digital-
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