Atenção:
O eduCAPES é um repositório de objetos educacionais, não sendo responsável por materiais de terceiros submetidos na plataforma. O usuário assume ampla e total responsabilidade quanto à originalidade, à titularidade e ao conteúdo, citações de obras consultadas, referências e outros elementos que fazem parte do material que deseja submeter. Recomendamos que se reporte diretamente ao(s) autor(es), indicando qual parte do material foi considerada imprópria (cite página e parágrafo) e justificando sua denúncia.
Caso seja o autor original de algum material publicado indevidamente ou sem autorização, será necessário que se identifique informando nome completo, CPF e data de nascimento. Caso possua uma decisão judicial para retirada do material, solicitamos que informe o link de acesso ao documento, bem como quaisquer dados necessários ao acesso, no campo abaixo.
Todas as denúncias são sigilosas e sua identidade será preservada. Os campos nome e e-mail são de preenchimento opcional. Porém, ao deixar de informar seu e-mail, um possível retorno será inviabilizado e/ou sua denúncia poderá ser desconsiderada no caso de necessitar de informações complementares.
Metadados | Descrição | Idioma |
---|---|---|
Autor(es): dc.contributor | Dumke, Vicente Roberto, 1940- | - |
Autor(es): dc.contributor | Universidade Federal do Paraná. Setor de Ciências Exatas. Programa de Pós-Graduação em Física | - |
Autor(es): dc.creator | Serbena, Francisco Carlos | - |
Data de aceite: dc.date.accessioned | 2025-09-01T10:41:24Z | - |
Data de disponibilização: dc.date.available | 2025-09-01T10:41:24Z | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2025-01-22 | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2025-01-22 | - |
Data de envio: dc.date.issued | 1991 | - |
Fonte completa do material: dc.identifier | https://hdl.handle.net/1884/36949 | - |
Fonte: dc.identifier.uri | http://educapes.capes.gov.br/handle/1884/36949 | - |
Descrição: dc.description | Orientador: Vicente Roberto Dumke | - |
Descrição: dc.description | Dissertação (mestrado) - Universidade Federal do Parana, Setor de Ciências Exatas, Programa de Pós-Graduação em Física | - |
Descrição: dc.description | Resumo: A implantação de íons de O + em Si produz modificações em suas propriedades mecânicas, químicas e óticas. Usando técnicas de microscopia ótica de interferência e de ataque químico, observa-se um padrão de dissolução característico na fronteira da região implantada, revelando a existência de uma microestrutura nesta região. Esta está relacionada a efeitos de mascaramento, difusão do oxigênio, surgimento de defeitos e precipitados de SiO2 e a existência de tensões . As modificações na topografia de superfície assim como a criação de defeitos após tratamentos térmicos em alta temperatura também foram estudadas. | - |
Descrição: dc.description | Abstract: The high dose O + implantation in Si monocrystals changes the mechanical, chemical and optical properties of the bulk. Using optical interference microscopy and chemical etching, a characteristic dissolution pattern is observed in the implanted region boundary. This microstructure is related with conditions such as ion implantation mask, oxygen diffusion, defects and SiO2 precipitates and stress field. The modifications in surface topography and defects production by high temperature annealing are described too. | - |
Formato: dc.format | iii, 68 f. : il. ; 30 cm. | - |
Formato: dc.format | application/pdf | - |
Formato: dc.format | application/pdf | - |
Relação: dc.relation | Disponível em formato digital | - |
Palavras-chave: dc.subject | Fisica do estado solido | - |
Palavras-chave: dc.subject | Física | - |
Título: dc.title | Caracterização de Si implantado com altas doses de oxigenio atraves de microscopia otica de interferencia e ataque quimico | - |
Tipo de arquivo: dc.type | livro digital | - |
Aparece nas coleções: | Repositório Institucional - Rede Paraná Acervo |
O Portal eduCAPES é oferecido ao usuário, condicionado à aceitação dos termos, condições e avisos contidos aqui e sem modificações. A CAPES poderá modificar o conteúdo ou formato deste site ou acabar com a sua operação ou suas ferramentas a seu critério único e sem aviso prévio. Ao acessar este portal, você, usuário pessoa física ou jurídica, se declara compreender e aceitar as condições aqui estabelecidas, da seguinte forma: