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Metadados | Descrição | Idioma |
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Autor(es): dc.contributor | Rice University | - |
Autor(es): dc.contributor | Universidade Estadual Paulista (UNESP) | - |
Autor(es): dc.contributor | RF Devices and Circuits | - |
Autor(es): dc.contributor | U.S. Naval Research Laboratory | - |
Autor(es): dc.creator | Gray, Tia | - |
Autor(es): dc.creator | Zhang, Xiang | - |
Autor(es): dc.creator | Biswas, Abhijit | - |
Autor(es): dc.creator | Terlier, Tanguy | - |
Autor(es): dc.creator | Oliveira, Eliezer F. | - |
Autor(es): dc.creator | Puthirath, Anand B. | - |
Autor(es): dc.creator | Li, Chenxi | - |
Autor(es): dc.creator | Pieshkov, Tymofii S. | - |
Autor(es): dc.creator | Garratt, Elias J. | - |
Autor(es): dc.creator | Neupane, Mahesh R. | - |
Autor(es): dc.creator | Pate, Bradford B. | - |
Autor(es): dc.creator | Birdwell, A. Glen | - |
Autor(es): dc.creator | Ivanov, Tony G. | - |
Autor(es): dc.creator | Vajtai, Robert | - |
Autor(es): dc.creator | Ajayan, Pulickel M. | - |
Data de aceite: dc.date.accessioned | 2025-08-21T23:27:41Z | - |
Data de disponibilização: dc.date.available | 2025-08-21T23:27:41Z | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2025-04-29 | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2024-09-01 | - |
Fonte completa do material: dc.identifier | http://dx.doi.org/10.1016/j.carbon.2024.119366 | - |
Fonte completa do material: dc.identifier | https://hdl.handle.net/11449/303257 | - |
Fonte: dc.identifier.uri | http://educapes.capes.gov.br/handle/11449/303257 | - |
Descrição: dc.description | Diamond, renowned for its exceptional semiconducting properties, stands out as a promising material for high-performance power electronics, optics, quantum, and biosensing technologies. This study methodically investigates the optimization of polycrystalline diamond (PCD) substrate surfaces through Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching (ICP-RIE). Various parameters, including gaseous species, flow rate, coil power, and bias power were tuned to understand their impact on surface morphology and chemistry. A thorough characterization, encompassing chemical, spectroscopic, and microscopic methods, shed light on the effects of different ICP-RIE conditions on surface properties. CF4/O2 plasma emerged as a viable treatment for achieving smooth PCD surfaces with minimal etch pit formation. Most notably, surface fluorination, a critical aspect of increasing chemical and thermal stability, was successfully accomplished using CF4, SF6, and other F-containing plasmas. The fluorine concentration and surface chemistry variations were studied, with high resolution X-ray Photoelectron Spectroscopy unveiling differences amongst the sp2 C phase, sp3 C phase, C–O, C[dbnd]O, and C–F bonds. Time-of-flight secondary Ion Mass Spectrometry (ToF-SIMS) and depth-profile analysis unveiled a consistent surface fluorination pattern with CF4/O2 treatment. Furthermore, contact angle measurements showcased heightened hydrophobicity. This study provides valuable insights into precise diamond surface engineering, important for the development of future diamond-based semiconductor technologies. | - |
Descrição: dc.description | Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico (CNPq) | - |
Descrição: dc.description | Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo (FAPESP) | - |
Descrição: dc.description | National Science Foundation | - |
Descrição: dc.description | Army Research Office | - |
Descrição: dc.description | Department of Materials Science and Nanoengineering Rice University | - |
Descrição: dc.description | SIMS Laboratory Shared Equipment Authority Rice University | - |
Descrição: dc.description | Department of Physics and Meteorology School of Sciences São Paulo State University (Unesp), SP | - |
Descrição: dc.description | Applied Physics Graduate Program Smalley-Curl Institute Rice University | - |
Descrição: dc.description | DEVCOM Army Research Laboratory RF Devices and Circuits | - |
Descrição: dc.description | Chemistry Division U.S. Naval Research Laboratory | - |
Descrição: dc.description | Department of Physics and Meteorology School of Sciences São Paulo State University (Unesp), SP | - |
Descrição: dc.description | FAPESP: 2023/08122–0 | - |
Descrição: dc.description | National Science Foundation: 2236422 | - |
Descrição: dc.description | CNPq: 304957/2023–2 | - |
Descrição: dc.description | National Science Foundation: CBET-1626418 | - |
Descrição: dc.description | Army Research Office: W911NF-19-2-0269 | - |
Idioma: dc.language | en | - |
Relação: dc.relation | Carbon | - |
???dc.source???: dc.source | Scopus | - |
Palavras-chave: dc.subject | Contact angle | - |
Palavras-chave: dc.subject | Diamond | - |
Palavras-chave: dc.subject | Fluorination | - |
Palavras-chave: dc.subject | Reactive ion etching | - |
Palavras-chave: dc.subject | Surface morphology | - |
Título: dc.title | Benchmarking diamond surface preparation and fluorination via inductively coupled plasma-reactive ion etching | - |
Tipo de arquivo: dc.type | livro digital | - |
Aparece nas coleções: | Repositório Institucional - Unesp |
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