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Metadados | Descrição | Idioma |
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Autor(es): dc.contributor | Universidade Estadual Paulista (UNESP) | - |
Autor(es): dc.contributor | Brazilian Center for Research in Energy and Materials (CNPEM) | - |
Autor(es): dc.contributor | Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) | - |
Autor(es): dc.contributor | Karlsruhe Institute of Technology (KIT) | - |
Autor(es): dc.contributor | Mackenzie Presbyterian Institute | - |
Autor(es): dc.creator | da Silva, Ricardo M. L. | - |
Autor(es): dc.creator | Albano, Luiz G. S. | - |
Autor(es): dc.creator | Vello, Tatiana P. | - |
Autor(es): dc.creator | de Araújo, Wagner W. R. | - |
Autor(es): dc.creator | de Camargo, Davi H. S. | - |
Autor(es): dc.creator | Palermo, Leirson D. | - |
Autor(es): dc.creator | Corrêa, Cátia C. | - |
Autor(es): dc.creator | Wöll, Christof | - |
Autor(es): dc.creator | Bufon, Carlos C. B. | - |
Data de aceite: dc.date.accessioned | 2025-08-21T19:58:47Z | - |
Data de disponibilização: dc.date.available | 2025-08-21T19:58:47Z | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2023-03-01 | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2023-03-01 | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2022-09-01 | - |
Fonte completa do material: dc.identifier | http://dx.doi.org/10.1002/aelm.202200175 | - |
Fonte completa do material: dc.identifier | http://hdl.handle.net/11449/241661 | - |
Fonte: dc.identifier.uri | http://educapes.capes.gov.br/handle/11449/241661 | - |
Descrição: dc.description | The miniaturization of electronic devices highlights the need for robust low-κ materials as an alternative to prevent losses in the performance of integrated circuits. For it, surface-supported metal-organic frameworks (SURMOFs), a class of porous-hybrid materials, may cover such a demand. However, the high-intrinsic porosity makes determining the dielectric properties difficult and promotes the integration of SURMOF thin films. Here, the integration of ultrathin HKUST-1 SURMOF films into a 3D functional device architecture using soft-top electrical contacts is addressed. In this novel approach, the device structure assumes an ultracompact capacitor structure allowing determine the dielectric properties of porous thin films with considerable accuracy. A low-κ value of 2.0 ± 0.5 and robust breakdown strength of 2.8 MV cm−1 are obtained for films below 80 nm. The spontaneous self-encapsulated structure provides a footprint-area reduction of up to 90% and yields good protection for the SURMOF toward different hazardous exposure. Finite-element calculations compare the HKUST-1 performance as dielectric layer with well-established insulators applied in electronics (SiO2 and Al2O3). The possibility of integration and miniaturization of HKUST-1, combined with their interesting insulating properties, place this hybrid material as a robust low-k dielectric for novel electronics. | - |
Descrição: dc.description | Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo (FAPESP) | - |
Descrição: dc.description | Laboratório Nacional de Luz Síncrotron | - |
Descrição: dc.description | Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico (CNPq) | - |
Descrição: dc.description | Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior (CAPES) | - |
Descrição: dc.description | Laboratório Nacional de Nanotecnologia | - |
Descrição: dc.description | Postgraduate Program in Materials Science and Technology (POSMAT) São Paulo State University (UNESP), São Paulo | - |
Descrição: dc.description | Brazilian Nanotechnology National Laboratory (LNNano) Brazilian Center for Research in Energy and Materials (CNPEM), São Paulo | - |
Descrição: dc.description | Department of Physical Chemistry Institute of Chemistry (IQ) University of Campinas (UNICAMP), São Paulo | - |
Descrição: dc.description | Institute of Functional Interfaces (IFG) Karlsruhe Institute of Technology (KIT) | - |
Descrição: dc.description | Graphene and Nanomaterials Research Center (MackGraphe) Mackenzie Presbyterian Institute | - |
Descrição: dc.description | Postgraduate Program in Materials Science and Technology (POSMAT) São Paulo State University (UNESP), São Paulo | - |
Descrição: dc.description | FAPESP: 2014/25979-2 | - |
Descrição: dc.description | FAPESP: 2014/50906-9 | - |
Descrição: dc.description | FAPESP: 2016/25346-5 | - |
Descrição: dc.description | FAPESP: 2017/02317-2 | - |
Descrição: dc.description | FAPESP: 2017/25553-3 | - |
Descrição: dc.description | Laboratório Nacional de Luz Síncrotron: 20170812 | - |
Descrição: dc.description | Laboratório Nacional de Luz Síncrotron: 20180148 | - |
Descrição: dc.description | Laboratório Nacional de Luz Síncrotron: 20180742 | - |
Descrição: dc.description | CNPq: 305305/2016-6 | - |
Descrição: dc.description | CNPq: 306768/2019-4 | - |
Descrição: dc.description | CNPq: 380367/2020-3 | - |
Descrição: dc.description | CNPq: 408770/2018-0 | - |
Descrição: dc.description | CNPq: 442493/2019-3 | - |
Descrição: dc.description | CNPq: 465452/2014-0 | - |
Descrição: dc.description | CAPES: 88881.145646/2017-01 | - |
Descrição: dc.description | CAPES: 88887.497908/2020-00 | - |
Descrição: dc.description | Laboratório Nacional de Nanotecnologia: AFM-24654 | - |
Descrição: dc.description | Laboratório Nacional de Nanotecnologia: AFM-26354 | - |
Descrição: dc.description | Laboratório Nacional de Nanotecnologia: AFM-27465 | - |
Descrição: dc.description | Laboratório Nacional de Nanotecnologia: SEM-C1-25060 | - |
Idioma: dc.language | en | - |
Relação: dc.relation | Advanced Electronic Materials | - |
???dc.source???: dc.source | Scopus | - |
Palavras-chave: dc.subject | dielectrics | - |
Palavras-chave: dc.subject | HKUST-1 | - |
Palavras-chave: dc.subject | low-κ | - |
Palavras-chave: dc.subject | metal-organic frameworks | - |
Palavras-chave: dc.subject | SURMOFs | - |
Título: dc.title | Surface-Supported Metal-Organic Framework as Low-Dielectric-Constant Thin Films for Novel Hybrid Electronics | - |
Tipo de arquivo: dc.type | livro digital | - |
Aparece nas coleções: | Repositório Institucional - Unesp |
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