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Metadados | Descrição | Idioma |
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Autor(es): dc.contributor | Universidade Estadual Paulista (UNESP) | - |
Autor(es): dc.creator | Lopes, Juliana Feletto Silveira Costa | - |
Autor(es): dc.creator | De Oliveira Furquim, Felipe | - |
Autor(es): dc.creator | Rangel, Elidiane Cipriano | - |
Autor(es): dc.creator | Durrant, Steven F. | - |
Data de aceite: dc.date.accessioned | 2025-08-21T22:46:29Z | - |
Data de disponibilização: dc.date.available | 2025-08-21T22:46:29Z | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2022-05-01 | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2022-05-01 | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2020-12-31 | - |
Fonte completa do material: dc.identifier | http://dx.doi.org/10.1590/1980-5373-MR-2021-0016 | - |
Fonte completa do material: dc.identifier | http://hdl.handle.net/11449/233409 | - |
Fonte: dc.identifier.uri | http://educapes.capes.gov.br/handle/11449/233409 | - |
Descrição: dc.description | Thin a-C:H:Si:F:N films were studied as a function of the partial pressure of SF6 in plasma feed, RSF, together with tetramethylsilane and N2. Deposition rates varied from ∼4 to ∼19 nm.min-1. Surface roughnesses were typically less than 35 nm. Surface contact angles with water droplets, measured using goniometry, were all around 90°. Scanning electron micrography revealed surface particles, probably formed in the gas phase, of typical diameters ∼8 μm. As revealed by Fourier transform infrared spectroscopy and energy dispersive x-ray spectroscopy, the films are plasma polymers with a carbon and silicon network. Most of the films contain ∼ 60 at.% C, ∼ 10 at.% Si, 20 at.% O and ∼5 to 14 at.% N. Film doping with F rises to ∼2 at.% as RSF is increased. The Tauc gap, calculated from ultraviolet-visible near infrared spectroscopic data, is controllable in the range of ∼3.5 to 4.1 eV by a suitable choice of RSF. Fluorination causes the films to be softer and less stiff. Total deformation and stored energies are reduced compared to those of the film deposited at RSF = 0%. The modulus of dissipation increases from ∼8% to a maximum of ∼65% for the fluorinated films. | - |
Descrição: dc.description | Universidade Estadual Paulista Júlio de Mesquita Filho (UNESP) Instituto de Ciência e Tecnologia | - |
Descrição: dc.description | Universidade Estadual Paulista Júlio de Mesquita Filho (UNESP) Instituto de Ciência e Tecnologia | - |
Idioma: dc.language | en | - |
Relação: dc.relation | Materials Research | - |
???dc.source???: dc.source | Scopus | - |
Palavras-chave: dc.subject | A-C:H:Si:F:N | - |
Palavras-chave: dc.subject | Optical properties | - |
Palavras-chave: dc.subject | PECVD | - |
Palavras-chave: dc.subject | Thin films | - |
Título: dc.title | Characterization of Plasma-deposited a-C:H:Si:F:N Films | - |
Tipo de arquivo: dc.type | livro digital | - |
Aparece nas coleções: | Repositório Institucional - Unesp |
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