Growth evolution of AZO thin films deposited by magnetron sputtering at room temperature

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MetadadosDescriçãoIdioma
Autor(es): dc.contributorUniversidade Estadual Paulista (UNESP)-
Autor(es): dc.contributorUniversidade de Sorocaba-
Autor(es): dc.contributorUniversidade de São Paulo (USP)-
Autor(es): dc.creatorRamos, R.-
Autor(es): dc.creatorChaves, M.-
Autor(es): dc.creatorMartins, E.-
Autor(es): dc.creatorDurrant, Steven F.-
Autor(es): dc.creatorRangel, E. C.-
Autor(es): dc.creatorDa Silva, T. F.-
Autor(es): dc.creatorBortoleto, J. R.R.-
Data de aceite: dc.date.accessioned2025-08-21T19:33:38Z-
Data de disponibilização: dc.date.available2025-08-21T19:33:38Z-
Data de envio: dc.date.issued2022-05-01-
Data de envio: dc.date.issued2022-05-01-
Data de envio: dc.date.issued2020-12-31-
Fonte completa do material: dc.identifierhttp://dx.doi.org/10.1590/1980-5373-MR-2021-0052-
Fonte completa do material: dc.identifierhttp://hdl.handle.net/11449/233369-
Fonte: dc.identifier.urihttp://educapes.capes.gov.br/handle/11449/233369-
Descrição: dc.descriptionThin AZO films were grown by RF magnetron sputtering for different deposition times in argon plasmas. Optical, structural, and morphological properties, together with elemental composition, were studied and correlated with the observed effects on the electrical properties and compared with two models of mobility scattering (ionized impurities and grain boundaries). The results suggest that the carrier density in the studied case is limited to below 15% owing to the low ionization efficiency caused by the formation of neutral impurities as homologous phases. While the spread in the mobility during the initial stages of film growth is strongly influenced by grain boundaries, in thicker films the limitation on ion efficiency becomes more significant.-
Descrição: dc.descriptionCoordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior (CAPES)-
Descrição: dc.descriptionConselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico (CNPq)-
Descrição: dc.descriptionUniversidade Estadual Paulista (UNESP), Av. 3 Março, 511, SP-
Descrição: dc.descriptionUniversidade de Sorocaba, SP-
Descrição: dc.descriptionUniversidade de São Paulo (USP), Rua do Matão Trav. R187, SP-
Descrição: dc.descriptionUniversidade Estadual Paulista (UNESP), Av. 3 Março, 511, SP-
Descrição: dc.descriptionCAPES: 1795290/2018-
Descrição: dc.descriptionCNPq: 301622/2012-4-
Descrição: dc.descriptionCNPq: 555774/2010-4-
Idioma: dc.languageen-
Relação: dc.relationMaterials Research-
???dc.source???: dc.sourceScopus-
Palavras-chave: dc.subjectAl thin films-
Palavras-chave: dc.subjectMorphological properties-
Palavras-chave: dc.subjectTCO-
Palavras-chave: dc.subjectZnO-
Título: dc.titleGrowth evolution of AZO thin films deposited by magnetron sputtering at room temperature-
Tipo de arquivo: dc.typelivro digital-
Aparece nas coleções:Repositório Institucional - Unesp

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