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Metadados | Descrição | Idioma |
---|---|---|
Autor(es): dc.contributor | Pontificia Universidade Católica Do Rio De Janeiro | - |
Autor(es): dc.contributor | Faculdade De Engenharia De Guaratinguetá | - |
Autor(es): dc.contributor | Universidade de São Paulo (USP) | - |
Autor(es): dc.creator | Jacobsohn, L. G. | - |
Autor(es): dc.creator | Capote, G. | - |
Autor(es): dc.creator | Cruz, N. C. | - |
Autor(es): dc.creator | Zanatta, A. R. | - |
Autor(es): dc.creator | Freire, Jr. | - |
Data de aceite: dc.date.accessioned | 2025-08-21T17:12:33Z | - |
Data de disponibilização: dc.date.available | 2025-08-21T17:12:33Z | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2022-04-29 | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2022-04-29 | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2002-11-01 | - |
Fonte completa do material: dc.identifier | http://dx.doi.org/10.1016/S0040-6090(02)00756-3 | - |
Fonte completa do material: dc.identifier | http://hdl.handle.net/11449/230926 | - |
Fonte: dc.identifier.uri | http://educapes.capes.gov.br/handle/11449/230926 | - |
Descrição: dc.description | The deposition, structure and mechanical properties of hydrogenated amorphous carbon films grown in highly Ar-diluted CH4 atmospheres were investigated for a total pressure of 13 Pa. Films were investigated as a function of the self-bias voltage between -50 and -500 V for two extreme CH4 partial pressures, 2 and 100%. For the self-bias voltage that optimizes the diamond-like properties of the films, -350 V, we carried out an investigation as a function of the Ar partial pressure, which ranged from 0 to 99%. The deposition rate and the hydrogen content decreased with progressive Ar dilution. The density and the compressive internal stress are nearly constant. The hardness decreased for Ar-rich precursor atmospheres. The surface roughness was independent of the CH4 partial pressure. © 2002 Elsevier Science B.V. All rights reserved. | - |
Descrição: dc.description | Departamento De Física Pontificia Universidade Católica Do Rio De Janeiro, R. Marques de Sao Vicente, 225-Gavea, 22452-970 Rio de Janeiro, RJ | - |
Descrição: dc.description | Departamento De Física E Química Faculdade De Engenharia De Guaratinguetá, 12516-410 Guaratingueta, SP | - |
Descrição: dc.description | Instituto De Física De São Carlos Universidade De São Paulo, Caixa Postal 369, 13560-250 Sao Carlos, SP | - |
Formato: dc.format | 46-53 | - |
Idioma: dc.language | en | - |
Relação: dc.relation | Thin Solid Films | - |
???dc.source???: dc.source | Scopus | - |
Palavras-chave: dc.subject | Amorphous hydrogenated carbon | - |
Palavras-chave: dc.subject | Methane | - |
Palavras-chave: dc.subject | Noble gases | - |
Palavras-chave: dc.subject | Plasma enhanced CVD | - |
Título: dc.title | Plasma deposition of amorphous carbon films from CH4 atmospheres highly diluted in Ar | - |
Tipo de arquivo: dc.type | livro digital | - |
Aparece nas coleções: | Repositório Institucional - Unesp |
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