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Metadados | Descrição | Idioma |
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Autor(es): dc.contributor | Masaryk University | - |
Autor(es): dc.contributor | Universidade Estadual Paulista (UNESP) | - |
Autor(es): dc.creator | Homola, Tomáš | - |
Autor(es): dc.creator | Prysiazhnyi, Vadym [UNESP] | - |
Autor(es): dc.creator | Stupavská, Monika | - |
Data de aceite: dc.date.accessioned | 2022-08-04T22:05:29Z | - |
Data de disponibilização: dc.date.available | 2022-08-04T22:05:29Z | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2022-04-28 | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2022-04-28 | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2015-01-01 | - |
Fonte completa do material: dc.identifier | http://dx.doi.org/10.1504/IJNM.2015.075226 | - |
Fonte completa do material: dc.identifier | http://hdl.handle.net/11449/220597 | - |
Fonte: dc.identifier.uri | http://educapes.capes.gov.br/handle/11449/220597 | - |
Descrição: dc.description | In this paper, we demonstrated the cleaning and nano-oxidation of Si-wafer surfaces by atmospheric pressure plasma, generated in ambient air using diffuse coplanar surface barrier discharge. Plasma treatment for one second resulted in a significant reduction of water contact angle. The increase in wettability was observed and explained by chemical changes on the analysed Si-wafer surfaces. These changes were analysed by X-ray photoelectron spectroscopy which showed a considerable decrease in the presence of carbon and a significant increase of oxygen on the analysed surfaces. | - |
Descrição: dc.description | R and D Centre for Low-Cost Plasma and Nanotechnology Surface Modification Masaryk University, Kotláøská 267/2 | - |
Descrição: dc.description | Faculty of Engineering Sao Paulo State University | - |
Descrição: dc.description | Faculty of Engineering Sao Paulo State University | - |
Formato: dc.format | 237-244 | - |
Idioma: dc.language | en | - |
Relação: dc.relation | International Journal of Nanomanufacturing | - |
???dc.source???: dc.source | Scopus | - |
Palavras-chave: dc.subject | DBD | - |
Palavras-chave: dc.subject | Diffuse plasma | - |
Palavras-chave: dc.subject | Nano-modification | - |
Palavras-chave: dc.subject | Silicon wafer | - |
Palavras-chave: dc.subject | Surface treatment | - |
Título: dc.title | Nano-modification of Si-wafer surfaces using low-cost ambient air diffuse plasma | - |
Tipo de arquivo: dc.type | livro digital | - |
Aparece nas coleções: | Repositório Institucional - Unesp |
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