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Metadados | Descrição | Idioma |
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Autor(es): dc.contributor | Univ Nacl San Agustin Arequipa | - |
Autor(es): dc.contributor | Universidade de Brasília (UnB) | - |
Autor(es): dc.contributor | Universidade Estadual Paulista (Unesp) | - |
Autor(es): dc.contributor | Universidade Federal de São Carlos (UFSCar) | - |
Autor(es): dc.creator | Vilca-Huayhua, C. A. | - |
Autor(es): dc.creator | Paz-Corrales, K. J. | - |
Autor(es): dc.creator | Aragon, F. F. H. | - |
Autor(es): dc.creator | Mathpal, M. C. | - |
Autor(es): dc.creator | Villegas-Lelovsky, L. [UNESP] | - |
Autor(es): dc.creator | Coaquira, J. A. H. | - |
Autor(es): dc.creator | Pacheco-Salazar, D. G. | - |
Data de aceite: dc.date.accessioned | 2022-02-22T00:11:36Z | - |
Data de disponibilização: dc.date.available | 2022-02-22T00:11:36Z | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2020-12-09 | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2020-12-09 | - |
Data de envio: dc.date.issued | 2020-09-01 | - |
Fonte completa do material: dc.identifier | http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2020.138207 | - |
Fonte completa do material: dc.identifier | http://hdl.handle.net/11449/197222 | - |
Fonte: dc.identifier.uri | http://educapes.capes.gov.br/handle/11449/197222 | - |
Descrição: dc.description | Nowadays, the fabrication of cheaper, thermodynamically stable and durable transparent semiconducting oxide-based thin films are on high demand to enhance the properties of optoelectronic, sensing and energy harvesting devices. It is well known that Sn-doped In2O3 (ITO) thin films are difficult to grow by direct current sputtering. However, in this work cost-effective Sn-doped In2O3 films are deposited onto borosilicate glass substrates using a direct current sputtering of metallic In/Sn-target. The film thickness was controlled by the deposition time. A post-deposition annealing of the films in a vacuum atmosphere was performed in order to control the structural, optical and electrical properties. The phase formation, crystallite grain sizes (D) and lattice parameters have been assessed from the X-ray diffraction data analysis. Cross-section Scanning electron microscope image analyses were performed in order to estimate the growth rate of thin films. A band gap energy closing was observed associated with relaxation process of the unit cell suggested by the monotonic reduction of the lattice constant. Besides, a low sheet resistance (44 Ohm/square) was obtained, which is comparable to the commercially available ITO films. Furthermore, a inverse-square dependence between the sheet resistance and the grain size was determined (R-sq similar to 1/D-2). The last was used to estimate the carrier concentration of the thicker film similar to 10(20) cm(-3), which is in agreement with the value obtained from the Hall measurement. | - |
Descrição: dc.description | Universidad Nacional de San Agustin de Arequipa | - |
Descrição: dc.description | Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico (CNPq) | - |
Descrição: dc.description | Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior (CAPES) | - |
Descrição: dc.description | FAP/DF | - |
Descrição: dc.description | Univ Nacl San Agustin Arequipa, Lab Peliculas Delgadas, Escuela Profes Fis, Av Independencia S-N, Arequipa, Peru | - |
Descrição: dc.description | Univ Brasilia, Inst Fis, Nucleo Fis Aplicada, BR-70910900 Brasilia, DF, Brazil | - |
Descrição: dc.description | Univ Estadual Paulista, Dept Fis, IGCE, BR-13506900 Rio Claro, SP, Brazil | - |
Descrição: dc.description | Univ Fed Sao Carlos, Ctr Ciencias Exatas & Tecnol, Dept Fis, BR-13565905 Sao Carlos, SP, Brazil | - |
Descrição: dc.description | Univ Estadual Paulista, Dept Fis, IGCE, BR-13506900 Rio Claro, SP, Brazil | - |
Descrição: dc.description | Universidad Nacional de San Agustin de Arequipa: IBAIB-04-2018-UNSA | - |
Formato: dc.format | 6 | - |
Idioma: dc.language | en | - |
Publicador: dc.publisher | Elsevier B.V. | - |
Relação: dc.relation | Thin Solid Films | - |
???dc.source???: dc.source | Web of Science | - |
Palavras-chave: dc.subject | Vacuum annealing | - |
Palavras-chave: dc.subject | Indium tin oxide | - |
Palavras-chave: dc.subject | Band gap energy | - |
Palavras-chave: dc.subject | Grain size effect | - |
Palavras-chave: dc.subject | Sheet resistance | - |
Palavras-chave: dc.subject | Sputtering | - |
Título: dc.title | Growth and vacuum post-annealing effect on the structural, electrical and optical properties of Sn-doped In2O3 thin films | - |
Tipo de arquivo: dc.type | livro digital | - |
Aparece nas coleções: | Repositório Institucional - Unesp |
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