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Navegando por Autor Alves, Marco Antônio Robert

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Fabrication and electrical performance of high-density arrays of nanometric silicon tips
Carvalho, Edson José de; Alves, Marco Antônio Robert; Braga, Edmundo da Silva; Cescato, Lucila Helena Deliesposte
26-Nov-2012
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SiO2 single layer for reduction of the standing wave effects in the interference lithography of deep photoresist structures on Si.
Carvalho, Edson José de; Alves, Marco Antônio Robert; Braga, Edmundo da Silva; Cescato, Lucila Helena Deliesposte
28-Nov-2012
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