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Deposition and etching of HMDSO/SF6 plasma polymerized thin films
Universidade Estadual Paulista (UNESP)
Santana, R. G. [UNESP]; Honda, R. Y. [UNESP]; Algatti, M. A. [UNESP]; Kayama, M. E. [UNESP]; Mota, R. P. [UNESP]
28-Abr-2022
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Study of the mechanical stability of HMDSN plasma polymerized thin films
Universidade Estadual Paulista (UNESP)
Ramalho, C. Z. [UNESP]; Cioffi, M. O.H. [UNESP]; Klaffke, B. [UNESP]; Mota, R. P. [UNESP]; Honda, R. Y. [UNESP]; Algatti, M. A. [UNESP]; Voorward, H. J.C. [UNESP]; Kayama, M. E. [UNESP]
28-Abr-2022
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