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- Plasma-Assisted Nanofabrication: The Potential and Challenges in Atomic Layer Deposition and EtchingUniversidade Estadual Paulista (UNESP); Instituto Tecnológico de Aeronáutica; Universidade de Aveiro; Universidade Presbiteriana MackenzieChiappim, William; Neto, Benedito Botan; Shiotani, Michaela; Karnopp, Júlia; Gonçalves, Luan; Chaves, João Pedro; Sobrinho, Argemiro da Silva; Leitão, Joaquim Pratas; Fraga, Mariana; Pessoa, Rodrigo29-Jul-2023★★★★★ (0)