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The effect of ion bombardment on the properties of TiOx films deposited by a modified ion-assisted PECVD technique
Laboratório de Plasmas e Applicações LPA; Universidade de São Paulo (USP); Instituto de Química
Da Cruz, Nilson C.; Rangel, Elidiane C.; Tabacknics, Manfredo H.; Trasferetti, Benedito C.; Davanzo, Celso U.
28-Abr-2022
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